本文來自 微信公眾號“半導體裝置與材料”
光刻機作為晶圓製造工藝最核心裝置,相當於半導體的火車頭,且因其被ASML壟斷接近90%的市場格局,其訂單趨勢、產品創新對全球半導體產業具有前瞻性參考價值。
市場規模:2020年全球光刻機銷量413臺,估計銷售額130多億美元均創歷史新高。根據ASML、Canon、收購鏡頭Nikon公告,全球光刻機銷量413臺,同比增長15%,按季度依次是95臺、95臺、97臺、126臺,分別同比增長19%、25%、8%、12%。參考ASML單價,我們估計全球光刻機市場規模達到130多億美元,同比增長20%以上,且2016-2020年全球光刻機市場規模年均複合增長23%。
市場增量:光刻機行業市場規模的增量主要來自EUV,全球銷量佔比27%的EUV與ArF immersion佔光刻機市場銷售額的82%。2020年EUV光刻機銷量31臺佔比8%,銷售額55億美元同比增長76%,佔光刻機市場規模的比例為41%;ArF i銷量80臺佔19%,銷售額估計54億美元同比下降7%,但佔全球光刻機市場的40%。ArF dry、KrF、i-line光刻機銷量分別為32臺、130臺、140臺,分別同比增長3%、57%、25%,銷量佔比依次是8%、31%、34%,銷售額佔比依次是5%、11%、3%。
競爭格局:ASML壟斷約90%光刻機市場。2020年413臺光刻機中,ASML銷售258臺佔比62%,Canon銷售122臺(KrF、i-line)佔比30%,收購鏡頭Nikon銷售33臺佔比8%,按銷售額計算,ASML、Canon、收購鏡頭Nikon的光刻機銷售額佔比依次是91%、3%、6%。2020年,EUV目前僅有ASML製造供應;ArF immersion 80臺銷量中ASML銷售了68臺佔85%,收購鏡頭Nikon銷售了12臺佔15%;ArF dry光刻機32銷量中,ASML銷售22臺佔69%,收購鏡頭Nikon銷售10臺佔比31%;KrF光刻機行業銷量140臺中,ASML佔79%,Canon佔19%,收購鏡頭Nikon佔2%,i-line光刻機銷量中,ASML佔24%,Canon佔69%,收購鏡頭Nikon佔6%。
客戶結構:ASML邏輯客戶收入貢獻比例7成,但儲存客戶的採購額2020年實現了同比正增長。2020年,ASML邏輯客戶收入佔比72%,儲存客戶收入佔比僅為28%但相比2019年上升了1個百分點。實際上,邏輯客戶2020年收入74億歐元同比增長8%,預計2021年同比增長10%達到82億,儲存客戶2020年收入29億歐元同比增長14%,預計2021年同比增長20%達到35億歐元,表明3D Nand、DRAM等儲存廠資本開支援續恢復增長。
EUV光刻:2021年延續高增長勢頭,High-NA EUV光刻系統將始於2nm、2nm+等技術節點。2020年ASML EUV收入45億歐元,同比增長59%,預計2021年EUV光刻機收入58億歐元同比增長30%。儘管EUV也將被用於DRAM(尤其是1a技術節點及以下),但Logic先進製程仍是主要需求方。High-NA EUV光刻系統將始於N2、N2+技術節點,其量產時間表估計將是2025-2026年。ASML將在2022年完成第一臺High-NA EUV光刻機系統的驗證,並計劃在2023年交付給客戶。
風險因素:新產品工藝驗證時間長且風險高,PE估值較高的風險,晶圓製造專案可能遇到的技術及建設進度風險等。
1、市場規模:2020年全球光刻機銷量413臺,估計銷售額130多億美元均創歷史新高
根據ASML、Canon、收購鏡頭Nikon公告,全球光刻機銷量413臺,同比增長15%,按季度依次是95臺、95臺、97臺、126臺,分別同比增長19%、25%、8%、12%。
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參考ASML單價,我們估計全球光刻機市場規模達到130多億美元,同比增長20%以上,且2016-2020年全球光刻機市場規模年均複合增長23%。
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2、市場增量:光刻機行業市場規模的增量主要來自EUV,全球銷量佔比27%的EUV與ArF immersion佔光刻機市場銷售額的82%
2020年EUV光刻機銷量31臺佔比8%,銷售額55億美元同比增長76%,佔光刻機市場規模的比例為42%;ArF i銷量80臺佔19%,銷售額估計54億美元同比下降7%,但佔全球光刻機市場的40%。ArF dry、KrF、i-line光刻機銷量分別為32臺、130臺、140臺,分別同比增長3%、57%、25%,銷量佔比依次是8%、31%、34%,銷售額佔比依次是5%、11%、3%。
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3、競爭格局:ASML壟斷約90%光刻機市場
2020年413臺光刻機中,ASML銷售258臺佔比62%,Canon銷售122臺(KrF、i-line)佔比30%,收購鏡頭Nikon銷售33臺佔比8%。按銷售額計算,ASML、Canon、收購鏡頭Nikon的光刻機銷售額佔比依次是91%、3%、6%。
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2020年,分產品來看:
(1)EUV目前僅有ASML製造供應;
(2)ArF immersion 80臺銷量中ASML銷售了68臺佔85%,收購鏡頭Nikon銷售了12臺佔15%;
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(3)ArF dry光刻機32銷量中,ASML銷售22臺佔69%,收購鏡頭Nikon銷售10臺佔比31%;
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(4)KrF光刻機行業銷量140臺中,ASML佔79%,Canon佔19%,收購鏡頭Nikon佔2%;
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(5) i-line光刻機銷量中,ASML佔24%,Canon佔69%,收購鏡頭Nikon佔6%。
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4、客戶結構:ASML邏輯客戶收入貢獻比例7成,但儲存客戶的採購額2020年實現同比正增長
2020年ASML客戶結構中,邏輯客戶收入佔比72%,儲存客戶收入佔比僅為28%但相比2019年上升了1個百分點。
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實際上,邏輯客戶2020年收入74億歐元同比增長8%,預計2021年同比增長10%達到82億歐元。
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儲存客戶2020年收入29億歐元同比增長14%,預計2021年同比增長20%達到35億歐元,表明3D Nand或DRAM等儲存廠資本開支援續恢復增長。
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5、EUV:2021年延續高增長勢頭,High-NA EUV光刻系統將始於2nm、2nm+等技術節點
2020年ASML EUV收入45億歐元,同比增長59%,預計2021年EUV光刻機收入58億歐元同比增長30%。
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儘管EUV也將被用於DRAM(尤其是1a技術節點及以下),但Logic先進製程仍是主要需求方。High-NA EUV光刻系統將始於N2、N2+技術節點,其量產時間表估計將是2025-2026年。ASML將在2022年完成第1臺High-NA EUV光刻機系統的驗證,並計劃在2023年交付給客戶。
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